CVD反應(yīng)爐的種類
發(fā)布時間：
2019-11-11 16:10
CVD反應(yīng)爐的種類有以下幾種：
1，熱絲 Hot Filament
2，直流電弧噴射 DC Arc Jet
3，微波等離子 Microwave Plasma
前二種適合生長多晶薄膜。微波分為2.45GHz及0.915GHz兩種頻率， 后者可以做到數(shù)十到百KW的功率，其托盤直徑可達4-6英寸，較前者的生產(chǎn)效率（6KW，2英寸）高很多，大型設(shè)備是未來CVD爐的趨勢。
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